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半导体器件热特性的电学法测量与分析

利用电学法测量器件的温升、热阻及进行瞬态热响应分析是器件热特性分析的有力工具. 本文利用电学法测量了GaA sM ESFET 在等功率下, 加热响应曲线随电压的变化, 并通过红外热像仪测量其温度分布, 结果表明电学法测得的平均温度与温度分布有很大关系. 理论计算也表明了这一点. 在等功率条件下, 电学平均温度随着温度分布趋于均匀而减少. 该方法可用来判断器件的热不均匀性.

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