IGBT驱动信号异常,原因何在?

正在开发的20kW电机控制器,IGBT驱动波形不正常,有以下问题:
(1) 驱动电路采用HCPL316J,门极电阻11ohm.
(2) 驱动电阻靠近光耦一侧脉冲上升沿非常整齐陡峭,Tr<100ns;
(3) 驱动电阻之后,Tr时间太长,至少500ns:
(4) 上升沿分为几个阶段:
a) Vee->0V,快速上升
b) 0V->5V,慢上升
c) 5V->8V,快上升
d) 8V->8V,平台期,约500ns
e) 8V->14V,充电波形,>2us

请大家帮忙分析一下,电阻之后的驱动信号延迟这么大,可能会是什么原因?曾经怀疑过是示波器表笔的问题,但表笔电容值应该是很小的.

谢谢.
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