• 回复
  • 收藏
  • 点赞
  • 分享
  • 发新帖

最爱的chroma产品Model 7935 晶圆检测系统

Chroma 7935晶圆检测机为切割后自动化晶粒检测机,使用先进的打光技术,可以清楚的辨识晶粒的外观瑕疵。结合不同的光源角度、亮度及取像模式,使得 7935可以适用于LED、雷射二极体及影像感测器等产业。

由于使用高速相机以及自行开发之检测演算法,7935可以针对特定瑕疵项目在2 分钟内检测完2"晶圆,换算为单颗处理时间为15 msec。7935同时也提供了自动 对焦与翘曲补偿功能,以克服晶圆薄膜的翘曲与载盘的水平问题。7935可配置不 同倍率之物镜,使用者可依晶粒或瑕疵尺寸选择适当的检测倍率。系统搭配的最 小解析度为0.35um,一般来说,可以检测1um左右的瑕疵尺寸。

系统功能在扩膜之后,晶粒或晶圆可能会产生不规则的排列,7935也提供了搜寻及排列功 能以转正晶圆。此外,7935拥有人性化的使用介面可降低学习曲线,所有的必要 资讯,如晶圆分布,瑕疵区域,检测参数及结果,均可清楚地透过UI呈现。

全部回复(0)
正序查看
倒序查看
现在还没有回复呢,说说你的想法