Chroma 7503三维光学轮廓仪乃利用扫描白光干涉技术所发展之次奈米三维光学轮廓量测仪,透过精密的扫描系统以及创新算法进行微奈米结构物表面轮廓的量测与分析。并可依据需求搭配彩色或单色相机进行2D量测,使系统亦具备工具显微镜量测功能,达到一机多用途的目的。
Chroma 7503新一代的系统模块化设计,具备高度弹性之组合配置,可针对不同之量测需求配置来符合不同之量测应用:搭载电动鼻轮,最多可同时挂载5种物镜,使用时直接切换,省去手动更换的麻烦。同时配备电动调整移动平台,可对样品作自动调平及定位。垂直与水平轴向扫描范围大,适合各种自动量测之应用,样品皆不需前处理即可进行非破坏、快速的表面形貌量测与分析,最适合使用于业界研发生产、制程改善以及学术研究等单位。