Chroma 7201可用来检测硅片长度、宽度、对角线、边缘 夹角、导角尺寸以及导角角度等,同时也可以检测表面瑕 疵。设计完善的软体以及操作介面可供使用者设定不同的 检测参数来达到检测结果,同时也提供瑕疵显示以及储存 功能来留待日后进行MES/CIM的分析以及整合。
可整合到任何硅片分选机上
可调整式的演算法可供检测5"、6"以及单晶、多晶、准单晶等各种硅片
多样化介面选择可与不同设备或者MES系统连线
可进行金刚线切割硅片的检测
自我监测以及校正系统