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是德科技推出全新第三代参数测试解决方案

2018-01-23 11:18 来源:是德科技 编辑:电源网

是德科技近日宣布推出其第三代P9000 系列大规模并行参数测试系统。该系统不仅可加速新技术的快速发展,更降低了高级半导体逻辑和记忆集成电路开发和制造过程中的测试成本。例如,随着新型器件结构和性能的提高,每个先进技术节点(小于或等于 20 纳米)的必要参数测试数据量将急剧增加。

P9000 推出后,可利用专门的引脚测试单元模块,为硅晶圆上的多个器件提供 100 引脚并行测量值。该模块具备参数(例如,电压、电流、电容、脉冲和频率)测试所需的全部典型测试功能。此外,直接电荷测量(DCM)技术可实现快速的 100 引脚并行电容测试。

第二代 P9000 搭载是德科技开发的快速Vt测量技术。快速Vt测量技术提供阈值电压(Vt)的单一测量值,其速度比任何常规测试方法要快四倍以上。除了 100 引脚并行测量外,DCM 和快速Vt 测量技术可提供更快的单一参数测量值,从而进一步提升测试速度。因此,先进的芯片代工厂和存储器公司现已采用 P9000 平台(第一代和第二代)作为下一代参数测试解决方案。

随着第三代 P9000 的推出,其采用全新引脚参数测试模块(是德科技 P9015A),测试器可进一步缩短电容测量的时间,从而解决了因多层互连和新器件结构导致电容测试量日益增加的难题。该全新模块利用其增强型 DCM技术来测量漏电电容,相比传统 LCR 测试器,其可在各类电容间建立良好的数据相关性,使单一电容测试速度提升两倍以上。另外,凭借 100 引脚并行电容测量能力,客户可进一步提高吞吐量。

是德科技晶圆测试解决方案副总裁兼总经理 Masaki Yamamoto表示:“许多半导体公司已将数以百计的 P9000 用于研发和生产,例如,先进的逻辑芯片和内存制造。” “是德科技将继续改进 P9000,进一步降低客户的上市时间,同时降低测试成本。 第三代 P9000 采用 100 引脚“真”参数引脚模块,甚至具备传统测试系统中使用的测试结构,为客户带来了疾速的并行参数测试解决方案。

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